成都奋羽电子科技有限公司

成都奋羽电子科技有限公司（奋羽电子）位于中国四川省成都市高新区，是一家从事微波能量应用方案设计及设备开发的高新技术企业，专注于中、大功率工业微波等离子体系统的研发和制造。奋羽电子的研究成果和产品已覆盖微波无极紫外光源系统、微波射流等离子体系统、微波真空沉积/镀膜系统等多个领域。在半导体制造装备亟需国产化替代方案的背景下，专用于半导体器件制造过程中去胶、灰化、清洗和刻蚀等环节的微波等离子体子系统是奋羽电子重点关注的应用方向。在充分研究现有同类产品的基础上，经过多次迭代和试验，奋羽电子推出了拥有完全自主知识产权的可集成于清洗装备的微波等离子体子系统，包括三个模块：高稳定度微波源、自动调配器和微波等离子炬。