1、监控光刻相关工艺线上产品流片过程中监测项目及spec；
2、Review光刻相关工艺测试参数，对超出spec的产品做异常处理及预防；
3、严格按照SOP对产线出现的工艺问题做出处理；
4、解决在光刻工艺转移过程中出现的异常状况。并积极配合相关部门需求，制定并协助其执行实验方案；
5、参与主导光刻相关工艺新耗材及2nd source耗材评估验证工作；
6、配合PIE/TD人员，参与新产品工艺研发和光刻相关工艺技术转移。对研发和工艺转移过程中光刻工艺出现的问题及时给出解决方案；
7、Review光刻相关工艺测试参数，对超出spec的产品做异常处理及采取有效预防措施；
8、与设备工程师及操作员合作解决光刻相关工艺生产中遇到的问题。