北京烁科中科信电子装备有限公司

北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月，以中国电科48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成，是国内集成电路高端工艺装备的领先企业。公司总部位于北京市通州区光机电一体化产业基地，在长沙设有分公司。 公司产品聚焦集成电路主要应用领域，兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域，形成中束流、大束流、高能机、定制机、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。CI P系列中束流离子注入机、CI C系列大束流离子注入机已有20余台进入国内最先进的极大规模集成电路生产线，12英寸晶圆量产超500万片，工艺段覆盖至28nm，定制注入机和化合物半导体注入机出货几十台 公司离子注入机团队近300人，硕士以上学历占38%。公司已申请近395项发明专利，获得授权68项,具备高新技术企业、博士后科研工作站等资质。 北京烁科中科信电子装备有限公司是国内唯一一家产品门类齐全，集研发、制造、服务于一体的集成电路领域离子注入机供应商，公司的目标是将来成为国际一流的集成电路装备供应商和服务商。