1.负责CMP工艺的开发、优化、维护等工作；
2.负责CMP工艺文件的编写与修订；
3.负责CMP工艺技术员的培养；
4.负责CMP工艺的技术规划和提升工作；
5.负责CMP工艺数据的整理和总结工作；
6.负责CMP工艺失效分析及改善提升工作；
7.负责CMP工艺相关新材料调研和导入工作；
8.负责CMP工艺SPC规则的制定、实施及改善提升；
9.负责CMP工序成本管控与CPK改进提升。