2.熟悉刻蚀工序所有设备（AMATP5000、LAM4420、LAM4600、LAM9400、LAM9600、GASONICSA1000、TEGAL915、L3100、TE5000、MAS801、CONCEPRONE、AMAT8100）故障解决方法，具备独立调试以上全部类型的设备、能对设备进行优化改造；

3.熟悉刻蚀工序使用的工艺气体安全注意事项，以及具备实际操作技能；

4.熟悉刻蚀设备的基本原理及刻蚀工艺知识。