岗位职责:

1. 保障电子束光刻系统相关工艺的稳定性；
2. 负责电子束光刻系统相关工艺的优化与开发；
3. 电子束光刻机设备的技术指标和方案验证。

1.熟悉半导体工艺流程，了解工艺评估流程，DOE实验设计，工艺开发；
2.熟悉电子束光刻工艺及，电子束光刻机及周边设备；
3.金属及非金属掩模版制作；
4.熟悉电子束光刻胶特性；
5.相关专业本科以上学历，3年以上相关工作经验。