1-1.2万
杭州南站
一、岗位职责:
1、 工艺开发与优化:优化蓝宝石衬底的抛光工艺流程(如机械抛光、化学机械抛光/CMP等),提升表面平整度(Ra值)、光洁度及良率;针对不同晶向(如C面、R面)或特殊需求的衬底(如图形化衬底/PSS)调整工艺参数。
2、 设备操作与维护:熟练操作高精度抛光设备(如单面/双面抛光机、CMP设备),并定期进行设备校准、维护及故障排查;制定设备操作规范,确保生产环境洁净度符合半导体行业标准(如Class 1000以下)。
3、 质量控制与检测:使用原子力显微镜(AFM)、白光干涉仪、激光共聚焦显微镜等仪器检测衬底表面粗糙度、划痕、亚表面损伤等缺陷;分析抛光后衬底的翘曲度(Warp/Bow)、厚度均匀性等关键参数,确保符合客户规格(如LED外延片要求Ra < 0.2nm)。
4、 问题分析与改进:解决抛光过程中出现的划痕、凹坑、边缘崩边等问题,通过实验设计(DOE)优化抛光液配方、压力、转速等参数;协同供应链团队评估抛光耗材(如金刚石研磨液、抛光垫)性能,降低成本并提升效率。
5、 跨部门协作与技术支持:与长晶、加工团队协作,优化衬底全流程加工方案;为客户提供抛光工艺技术支持,协助分析外延生长缺陷与衬底质量的关联性。
二、任职要求:
1、教育背景:材料科学与工程、机械工程、半导体物理或化学工程专业本科及以上学历;熟悉蓝宝石晶体结构(α-Al₂O₃)、各向异性加工特性及脆性材料去除机理。
2、经验要求:5年以上硬脆材料(蓝宝石、碳化硅、石英)抛光经验,熟悉半导体或LED行业标准(如SEMI标准);具备CMP工艺开发经验者优先,尤其是对抛光液化学作用机制有深入研究。
3、技术能力:具备或擅长超薄、大尺寸光学元件的平面加工能力,熟悉光学玻璃、石英、蓝宝石的超镜面加工的知识。对于尺寸控制、崩缺控制、划伤控制有实际的解决案例,并能够简要重点描述。主导过QCC、PDCA等方案解决的优先。精通抛光工艺参数(压力、转速、温度)对材料去除率(MRR)和表面质量的影响规律;熟练使用表面形貌分析仪器(如Zygo、Bruker AFM)及数据分析软件(如MATLAB、Origin);了解超精密加工前沿技术(如等离子体抛光、激光辅助抛光)。
实际工作地址:宁夏银川
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