北京元芯碳基集成电路研究院

北京碳基集成电路研究院为北京市和北京大学共建的面向后摩尔时代集成电路技术的新型研发机构。研究院以中国科学院院士、北京大学教授彭练矛团队为核心，以打造碳基集成电路原始创新、工程开发、成果转化、产业生态创新链为核心，发挥核心芯片技术引领优势、北京市政策资源优势、北京大学学科人才优势，通过长期稳定的支持，形成国际领先的碳基集成电路研发、生产能力，在碳基集成电路领域产出多项重大原始创新成果。研究院发展了完整的碳基集成电路技术，实现了性能接近量子极限的碳基晶体管、三维光电集成系统，有望将集成电路技术推进到3纳米节点以下，实现速度更快、功耗更低、集成度更高的新型碳基集成电路芯片，推动未来信息技术的发展。

研究院坐落于北京市海淀区益园文化创意产业园区，建成了国际上首条4英寸碳纳米管芯片研发工艺线，具备完整微加工设备，主要设备包括光刻设备、电子束蒸发镀膜仪、磁控溅射镀膜仪、ICP刻蚀设备、原子层沉积设备、ICP-CVD沉积设备、热退火设备，以及测试探针台和电学测量仪器等。研究院重视人才发掘和培养，已形成了一支碳基芯片领域的专业技术人才队伍，具备从碳纳米管材料制备、电路设计、电路流片到封装测试的完整碳基集成电路研发技术能力，先后承担了国家和北京市的多个碳基集成电路方向的重大科技项目。研究院也积极与京东方、华为、燕东微电子等开展合作和交流，促进了国内产学研用技术交流和融合，进一步推动碳基集成电路技术实用化进程。